
では、ガリウムヨウ化物ランプについて話しましょう。
もし実験室や製造現場で働いたことがあるなら、ほとんどのUVランプは少し「波長範囲が広すぎる」ということがわかるでしょう。実際には、特定の波長の光だけが必要なのに、多くの波長の光が放出されてしまいます。
そこで役立つのが、ガリウムヨウ化物(GaI)ランプです。私たちは15年間も、ガリウムの充填剤の化学的性質や石英の品質にこだわってきました。なぜかというと、大手メーカーと同じレベルの製品を、企業的な面倒ごとなしに作り出したかったからです。
重要なのは精度です。
通常、253.7nmや300~350nmといった特定の波長帯を目指します。これは些細なことのように思えますが、充填圧力やヨウ化物の濃度がわずかに変わっただけでも、スペクトルのピークがずれてしまいます。そうなると、硬化やエッチングの工程が台無しになってしまいます。これは本当に厄介な問題です。
そうしたことを防ぐために、私たちは高純度の合成石英を使用しています。普通のガラスでは不十分で、UV光を遮断したり、高温になると割れてしまったりします。これらのランプは、絶えず加熱されたり冷却されたりするため、十分に強度のある石英が必要です。
お客様の設備に合わせて作成します。
お客様が機械を再設計する必要はありません。特殊な長さや形状が必要な場合でも、お客様の設備に合わせて作成します。また、電極の仕様も慎重に決定しているので、バルブが早く寿命を迎えて交換しなくて済みます。ほとんどの場合、既存のOEMシステムにそのまま取り付けられます。
しかし、正直なところ、高強度のUV光は多くの熱を発生させます。高ワット数のGaIランプは、UV光と一緒に多量の赤外線も放出します。単純に閉じた箱の中に入れておくだけではダメです。しっかりとした冷却装置や強力な空気循環装置が必要です。
冷却が行われないと、石英が過熱してしまいます。それによりランプの寿命が短くなり、波長も安定しなくなります。
化学的な処理やガラスの選定は私たちが担当します。冷却はお客様が行ってください。この2つがうまく噛み合えば、半導体製造や医療用滅菌に必要な一貫性のある結果が得られます。